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TubeStar 系列氧化，扩散炉为实验型小型炉，根据需求定制，请按照以下流程确定规格:1.氧化过程: N2 和O2的干氧化还是N2, O2, H2和pyrogenic torch 的湿氧化或者N2和O2，高纯水蒸汽的湿氧化?2.层流箱（净化台）是否需要?3.最高温度需求: 1100 or 1200 C or 1300 C?4.采用石英管,舟还是SiC管,舟？ (由炉管温度决定）5.旁路净化装置和N2载流口，载气的气流控制装置是否需要?6.需要几个炉管?7.手动装载还是机械装载? 8.是否会应用于薄于100A的氧化层的制备或者20到25微米的厚氧化层的制备?