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ウェーハプロービングマシンとは、ウェーハ上に形成された全てのチップの電気的特性を試験する装置です。このウェーハテストにより、チップの良品、不良品の選別を行います。ウェーハプロービングマシン：UF3000EX世界No.1サプライヤーが提供する次世代高性能プロービングマシンです。新アルゴリズムによる高速ウェーハハンドリングとブローバ用に新開発した専用駆動ユニットによる高速?高静粛XYステージの相乗効果により驚異的なスループットを実現。更に、Z軸は世界最高水準の耐荷重と高精度を確保し、ポジションによる平面度変化を徹底的に排除するトポロジー最適化構造設計により最高のコンタクトを提供します。UF3000EXでは、OTS最新位置決め技術を更に進化させ、ウェーハアライトメント画像のカラー処理化や超高倍率機能の搭載により、精度や操作性も飛躍的に向上しています。ウェーハプロービングマシン：UF3000 独創的なOTS、QPU、TTGなど最先端の技術を融合した超高性能システムにて、次世代デバイスの微細化、多用なテスト環境に対し、お客様のニーズに合ったテストシステムをご提供いたします。 特長1OTS最新位置決め技術（OpticalTargetScope） OTSにより、カメラ間の相対位置を絶対的精度で測定することが可能となり、飛躍的に精度が向上いたしました。OTSはACCRETECH　Metrology技術を元に、アライメント光学系の自己相関を可能にしました。 特長2QPU超高剛性チャック（Quad-PodUnit）高い位置決め精度を効率良く再現するには、各部の剛性が非常に大きな役割を担います。UF3000ではZ軸に新技術の4軸駆動機構（QPU）を採用することで高剛性かつ安定したプローブコンタクトを実現しています。 特長3ロードポート8inch、12inchカセットの両用プラットホーム化および、インスペクショントレイの前面配置により、ユーザニーズに即したテスト環境を提供いたします。AMHS(Automated　MaterialHandlingSystem)にも対応。 特長4TTG(TouchToGo)UF3000は使い易さを追求し、タッチパネルに表示されるマップや画像に触れた場所に移動できる機能を採用し、セットアップを容易にし、さらにユーザー定義による画面構成を可能としています。 ウェーハプロービングマシン：UF2000 世界No.1ウェーハプロービングマシンメーカーとして、常に半導体業界をリードしてきたアクレーテクの東京精密。LCDドライバー等に代表されるパッドピッチが狭くなるデバイスを対象とした高精度の200mmウェーハプローバ「UF2000」は、過去の機能性?操作性を継承しつつ全ての面で性能を向上させた最新鋭機です。 特長1総合精度 1.5 mを実現。 特長2新規プロセッサの採用、新規設計ローダ、画像処理システムの性能向上により大幅にスループットを向上。 ウェーハプロービングマシン：UF200A 高精度、高剛性に加え、高い適応力を持ったプラットフォームをベースに、UFシリーズは進化を続けます。微細化技術?アセンブリ技術の進化に伴い変化するウェーハ。極薄ウェーハの処理や、ウェーハレベル?バーンインシステムのハンドラーとしても適応可能です。 特長18インチ汎用マシン。 ウェーハプロービングマシン：UF190B 高精度、高剛性に加え、高い適応力を持ったプラットフォームをベースに、UFシリーズは進化を続けます。微細化技術?アセンブリ技術の進化に伴い変化するウェーハ。極薄ウェーハの処理や、ウェーハレベル?バーンインシステムのハンドラーとしても適応可能です。 特長1高機能、ハイスループット、ハイコストパフォーマンスマシン。 特長2定評の自動針合わせ機能やカラー液晶タッチパネルをはじめとする、UF200の高機能?優れた操作性をそのままお使えいただけます。 ウェーハプロービングマシン：FP200A 高精度、高剛性に加え、高い適応力を持ったプラットフォームをベースに、UFシリーズは進化を続けます。微細化技術?アセンブリ技術の進化に伴い変化するウェーハ。極薄ウェーハの処理や、ウェーハレベル?バーンインシステムのハンドラーとしても適応可能です。 特長1薄型ウェーハに対応したフレーム搬送。 ウェーハプロービングマシンネットワーク：VEGANET ウェーハプロービングマシンの稼動状況を一元管理し、稼働率を一段とアップ。 システムモニター稼動率管理プロ-バステータス管理データ解析 ウェーハプロービングマシンネットワーク：LIGHTVEGA ユーザーホストによるリソースの一元管理できます。 ウェーハプロービングマシンネットワーク：GEMNetworkSystem ウェーハプロービングマシンネットワーク：VEGAPLANET テストエリアの効率向上に貢献する専用端末群です。特長1品種データ作成端末。特長2リモート操作端末。特長3ロギングデータ解析端末。特長4マップビューア。