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INFICON复合真空规 （冷阴极和皮拉尼的复合）型号：MPG400和MPG401,INFICON的冷阴极和皮拉尼的复合真空规MPG400和MPG401,测量范围从5x10-9毫巴至大气压(3.8x10-9乇至大气压).将两种测量方式组合在一个具有对数模拟输出的小型单元内,大大地降低了安装,设置和集成的复杂性.优点：复合真空规 冷阴极与皮拉尼宽的压强测量范围从5X10-9毫巴至大气压无可烧毁的灯丝卓越的引燃功能易清洗FPM或金属密封的馈入件高压加上时LED指示灯亮对数模拟输出讯号应用：高真空压强监测蒸发和溅射系统的压强测量一般真空测量和控制，从中至高真空范围