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INFICON的冷阴极和皮拉尼的复合真空规MPG400和MPG401,测量范围从5x10-9毫巴至大气压(3.8x10-9乇至大气压).将两种测量方式组合在一个具有对数模拟输出的小型单元内,大大地降低了安装,设置和集成的复杂性.优点：复合真空规 冷阴极与皮拉尼宽的压强测量范围从5X10-9毫巴至大气压无可烧毁的灯丝卓越的引燃功能易清洗FPM或金属密封的馈入件高压加上时LED指示灯亮对数模拟输出讯号应用：高真空压强监测蒸发和溅射系统的压强测量一般真空测量和控制，从中至高真空范围测量范围(空气,N2)毫巴(乇)5x10-9 1000(3.8x10-9 760)精度(N2)1x10-8 100毫巴%读值 30%重复性1x10-8 100毫巴%读值 5%安装方向 任何允许压强巴(绝对) 10(限于惰性气体)允许温度工作(室温)贮存 烘烤1)灯丝温度(皮拉尼) C C C C +5 +55 40 +65150120电源电压 在规管上VDC+15 +30在供电单元上,最大电缆长度2)VDC+16 +30纹波Vpp 1功耗W 2连接保险丝AT 1输出讯号(测量讯号) 电压范围V0 +10.5测量范围V+1.82 +8.6电压与压强的关系 对数,0.6V/量级误差讯号V 0.5(无电源) V 9.5(皮拉尼传感器,灯丝断裂)输出阻抗?2x10最小负载阻抗k?10,短路保护响应时间 p 10-6毫巴毫秒 10p=10-8毫巴毫秒 1000规管标识k?85,参考电源公共点状态 仅皮拉尼模式V0(低)复合皮拉尼/冷阴极模式V15 30(高)指示灯LED绿色高压on电气连接 FCC68设备连接件,8脚,凹型传感器电缆 8芯,加屏蔽电缆长度米 50(8x0.14毫米2)工作电压千伏 3.3工作电流微安 500暴露于真空的材料 不锈钢,Al2O3,FPM75, 不锈钢,Al2O3,Ag,Cu,Sn Mo,Ni,Au,W Mo,Ni,Au,W内容积厘米3 20重量 DN25ISO-KF克 700 730DN40ISO-KF克 720 750DN40CF-F克 980 1010保护级别 IP40标准 EN61000-6-2,EN61000-6-3,EN61010-1