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技术参数 1.真空度测量范围：9.999 10-1～1 10-52.离子电流测量范围：9.999 10-1～1 10-73.测量误差：＜10%4.测量分辨率：10-5pa5.允许环境温度：-20℃～50℃6.空气湿度： 80%RH7.电源：AC，220V，50Hz 10%8.外型尺寸：420 290 210（mm）9.高压输出：脉冲30kV15kHz⒑重量：8kg