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HPG高压强热电离皮拉尼真空计
日期:2010-09-26 05:23  点击:11
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INFICON的HPG400型高压强热电离皮拉尼真空计将高压强热电离与皮拉尼规管综合在一个小型、轻便与经济的规管中,测量压强从2*10-6至1000毫巴(1.5*10-6~750Torr)。HPG400提供高度的重复性和再现性压强测量,用于精确的溅射过程的压强控制。典型应用:1、半导体制造中的溅射工艺应用,电子学的媒体工业2、工业镀膜3、在低至高真空范围中系统的一般真空测量和控制
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