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ZFH系列复合真空测量仪是新一代智能复合真空测量仪。采用单片微机进行数据处理，真空度读数数字显示，测量结果直观、明确、读数方便。 电离规管的除气可以自动或手动进行，除气时间可以自动设定。 量程自动切换。当真空度下降，超出电离规管测量范围时，仪器可以自动停止电离部分工作，显示热偶部分测量数据。当真空度提高时，则可自动启动电离部分工作。 采用带有反馈环节的D/A电路控制热偶加热电流的大小，热偶加热电流可以数字设定，简单、方便、直观、准确。 真空度单位自动转换。 具有多种测量显示模式，显示方式灵活多样。 带有三个继电器触点，动作真空度可以数字设定。 当真空度高于0.01Pa时，可以自动标定热偶规管的加热电流。 仪器带有RS-485/232串行数据通讯接口，与上位计算机通讯方便。 ZFH-3:配用ZJ-27真空规管，真空测量范围：101kPa-0.00001Pa ZFH-4:配用ZJ-10真空规管，真空测量范围：101kPa-0.0001Pa ZFH-5:配用ZJ-6真空规管，真空测量范围：101kPa-0.00000001Pa