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A67031 四氯化硅生产技术配方制备工艺专利大全 （本辑280元，含下列15项；）（特别提示：本站的专利文献均已被编成word格式，这在业内独树一帜。） 01、一种分离和富集回收四氯化硅的工艺技术02、光纤级高纯度四氯化硅生产方法03、锆英砂沸腾氯化反应中产生的四氯化硅的回收提纯方法04、纯化含有氢化合物的四氯化硅或四氯化锗的方法和装置05、用三氯氢硅和四氯化硅混合源生产多晶硅的方法06、四氯化硅氢化生产三氯氢硅的方法07、立式四氯化硅汽相沉积合成石英玻璃的方法08、四氯化硅氢化新工艺09、四氯化硅的制造方法10、生产四氯化硅基的有机改性的气凝胶的方法11、一种四氯化硅、多晶硅和石英玻璃的联合制备法12、光纤用高纯四氯化硅的生产方法13、卧式四氯化硅气相沉积合成石英玻璃的方法14、提纯三氯硅烷和四氯化硅的方法和设备15、分离四氯硅烷-三甲基氯硅烷共沸物的方法