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A95311 单晶硅生产工艺配方制作制造技术专利大全 （本辑280元， 含下列61项）（特别提示：本站的专利文献均已被编成word格式，这在业内独树一帜。） 01、一种生产硅铁、硅钙和单晶硅的原料的加工方法02、用于纳米光子技术的单晶硅纳米膜的制备方法03、单晶硅片表面氨基硅烷-稀土纳米薄膜的制备方法04、单晶硅片表面磷酸基硅烷-稀土纳米薄膜的制备方法05、单晶硅片表面自洁性二氧化钛纳米薄膜的制备方法06、具有均匀空位缺陷的单晶硅锭和晶片及其制备方法和设备07、单晶硅的制造方法及单晶硅以及硅晶片08、单晶硅晶片及外延片以及单晶硅的制造方法09、p型单晶硅片的表面处理方法10、n型单晶硅片的表面处理方法11、单一轴向排布的单晶硅纳米线阵列制备方法12、单晶硅片表面制备巯基硅烷-稀土自润滑复合薄膜的方法13、单晶硅片表面制备磺酸基硅烷-稀土纳米复合薄膜的方法14、利用坩埚旋转以控制温度梯度的制备单晶硅的方法15、一种单晶硅抛光片热处理工艺16、一种直拉法生长单晶硅用硅籽晶夹持器17、用于制备具有改善的栅氧化层完整性的单晶硅的方法18、单晶硅太阳能电池的表面结构及其制作方法19、硅片和生产单晶硅的方法20、单晶硅膜的制造方法21、单晶硅基片表面自组装稀土纳米膜的制备方法22、通过控制拉速分布制造单晶硅锭和晶片的方法及其产品23、一种锌掺杂的负温度系数单晶硅热敏电阻24、一种锰掺杂的负温度系数单晶硅热敏电阻25、单晶硅片表面制备巯基硅烷-稀土纳米复合薄膜的方法26、提拉单晶硅用石英玻璃坩埚和制造该坩埚的方法27、涂覆有金属电镀层的单晶硅基片和垂直磁记录介质28、直拉单晶硅用砷掺杂剂及其制造方法以及使用该掺杂剂的单晶硅的制造方法29、单晶硅片表面自组装聚电解质-稀土纳米薄膜的制备方法30、单晶硅锭及其制造方法31、提拉单晶硅的装置32、通过控制拉速分布制造单晶硅锭和晶片的方法及其产品33、单晶硅－纳米晶立方氮化硼薄膜类P－N结及其制作方法34、低浓度钙杂质的石墨支撑容器及其在制造单晶硅中的应用35、单晶硅片抗机械力的提高36、生长富空位单晶硅的热屏蔽组件和方法37、用于单晶硅生长的非Dash缩颈法38、形成单晶硅层的方法和制造半导体器件的方法39、热退火后的低缺陷密度单晶硅40、从低缺陷密度的单晶硅上制备硅－绝缘体结构41、标定单晶硅晶圆晶向的方法42、制备具有均匀热过程的单晶硅的方法43、单晶硅及SOI基板、半导体装置及其制造方法、显示装置44、平板单晶硅表面的改性方法45、用于制备低铁污染单晶硅的装置和方法46、用于控制空位为主的单晶硅热过程的方法47、单晶硅晶片及单晶硅的制造方法48、绝缘体上的单晶硅(SOI)材料的制造方法49、分离单晶硅埚底料中石英的工艺50、直径300mm及300mm以上的单晶硅晶片及其制造方法51、抑制长的大直径单晶硅生长条纹的直拉生长装置52、制备单晶硅片表面完整层的新途径53、非线性磁场中单晶硅拉制方法及其装置54、掺金、掺铂单晶硅互换热敏电阻及其制作方法55、单晶硅的制造方法和设备56、单晶硅生产装置57、制造单晶硅的设备58、单晶硅生产设备59、制造单晶硅的装置60、单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用炭/炭隔热屏的制备方法61、单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用炭/炭加热器的制备方法