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供溅镀真空溅镀技术及设备装置工艺专利专辑
日期:2010-10-23 20:31  点击:8
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A96761 溅镀、真空溅镀技术及设备专利全文专辑 (本辑280元,含下列91项)(特别提示:本站的专利文献均已被编成word格式,这在业内独树一帜。)溅镀01、一种溅镀方法及溅镀设备02、含贵金属溅镀靶材的制作方法03、高真空离子束溅镀靶材利用率增强装置04、溅镀承载装置05、一种用于溅镀式镀膜机台的承载台06、应用溅镀工艺在太阳能电池基板上制作薄膜的方法07、溅镀用承载装置08、溅镀靶材09、溅镀装置、透明导电膜的制造方法10、溅镀装置及溅镀方法11、一种真空溅镀防电磁波干扰膜之不良膜面的处理方法12、钽基化合物的陶瓷溅镀靶材及其应用方法和制备方法13、清洁溅镀机的方法14、溅镀装置15、溅镀靶材16、溅镀靶材牌的电子束焊接17、磁电管及溅镀靶间的间距补偿18、LCP基材防EMI镀膜的溅镀前处理方法19、LCP基材溅镀防EMI镀膜的前处理方法20、塑料基材上镀覆高遮蔽防电磁干扰薄膜的溅镀方法21、防止被溅镀物品变形的方法22、对向靶材式溅镀装置23、以真空溅镀在塑胶基材上被覆抗EMI薄膜的方法24、塑胶件真空溅镀中提高镀层附着性的方法25、阳极板及包括所述阳极板的溅镀装置26、溅射源、溅镀装置、薄膜的制造方法27、一种多功能溅镀系统及溅镀方法28、抗菌纺织材料的负压溅镀制造方法及其产品29、溅镀设备供电系统、电压控制信号形成系统及方法30、溅镀靶材的制造方法31、轮圈混色溅镀制程32、溅镀机台及其溅镀载台33、高PTF溅镀靶和制造方法34、用于平面溅镀的二维磁电管扫描35、用于高功率溅镀的电源联接器36、用于反射型平面显示器的反射膜及溅镀靶材的合金材料37、提高溅镀靶使用率的预溅镀方法38、磁控式摇摆扫瞄型溅镀机39、自动检测半导体芯片位置的溅镀系统40、磁控管溅镀装置和方法41、溅镀装置及其使用此装置的金属层/金属化合物层的制造方法42、铟锡氧化物的溅镀工艺与形成铟锡氧化物层的方法43、一种以真空溅镀法制作多层陶瓷电容器的方法44、磁控及非平衡式磁控物理溅镀多层覆合超硬薄膜之方法45、盘片溅镀遮罩46、用于溅镀镀膜的阳极47、一种磁控及非平衡式磁控物理溅镀ZrCN于微型钻头的方法48、磁控溅镀装置49、溅镀清洗室的晶座设计及应用该设计的金属化制造过程50、溅镀靶及其制造方法51、溅镀靶安装到垫板上的方法和设计52、溅镀靶及其制造方法53、阴极溅镀装置54、在溅镀蚀刻工艺中监控蚀刻腔体内离子浓度的方法及装置55、溅镀 薄膜于 塑料制品上的方法及其塑料制品56、具有两个溅镀用阴极的、用于对平的基片进行镀膜的设备57、清洁短路后的溅镀室高压阴极的方法和装置58、真空溅镀装置59、平面磁控溅镀的方法和设备60、低压溅镀的方法与装置61、溅镀清洗室的晶座设计及应用该设计的金属化制造过程62、以气喷粉末制作铝合金溅镀靶材的方法63、金属溅镀靶材的制造方法64、金属硅化物溅镀靶65、用于平面溅镀的二维磁电管扫描66、导电性阻障层、尤其是钌钽合金及其溅镀沉积方法67、溅镀靶材的制造方法68、溅镀式镀膜装置69、溅镀装置70、溅镀式镀膜装置及方法71、偏压晶片时的铝溅镀溅射镀72、一种溅射镀膜装置和方法73、多工位轴瓦磁控溅射镀膜装置74、应用于磁控溅射镀膜中的膜厚修正工艺及系统75、能量过滤磁控溅射镀膜方法及实施该方法的装置76、磁控溅射镀膜机的永磁枪靶装置77、一种磁控溅射镀膜用低熔点金属与背板加工工艺78、防污染超高真空磁控溅射镀膜装置79、电磁波屏蔽织物的真空溅射镀膜和化学镀膜复合制造方法及其产品80、多级加速模式下磁控溅射镀膜方法81、磁控溅射镀膜夹具及其使用方法82、能热处理的、耐久的、红外反射的溅射镀膜玻璃及其制造方法83、匹配的、可热处理的、耐久的、不反射的溅射镀膜玻璃及其制造方法84、溅射镀膜设备的靶中阴极和接地屏蔽极的配置85、改进了的可热处理溅射镀膜玻璃层系86、一种磁控溅射镀吸收膜工艺87、溅射镀膜装置88、真空多元溅射镀膜方法89、一种在SiC微颗粒表面磁控溅射镀铜膜的方法90、溅射镀膜离子束辐照增强方法91、电子陶瓷连续式溅射镀膜设备
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