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该控制器应用于溅射镀膜领域（工具镀、装饰镀膜等等）功能:1、实现镀膜区的均匀性、稳定性；2、提高镀膜效率；原理：通过监控靶的等离子强度，作为反馈信号来控制溅射反应流量计（最好是MKS流量计）来控制反应气体的流量，从而实现溅射镀膜区的均匀性和稳定性。主要产品：两路控制（一路光纤，一路靶电压控制）mini版控制器，如以下图所示： 八路控制（三路光纤，五路靶电压），可根据客户具体要求订做。