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四氟化碳
状态
气体(元)
用途级别
工业级
含量
99.999(%)
CAS编号
75-73-0
品牌
中锐
四氟化碳(CF4)
在常温下,四氟化碳是无色、无臭、不燃的可压缩性气体,挥发性较高,是最稳定的有机化合物之一,在900℃时,不与铜、镍、钨、钼反应,仅在碳弧温度下缓慢分解,微溶于水,在25℃及0.1Mpa下其溶解度为0.0015%(重量比),然而与可燃性气体燃烧时,会分解产生有毒氟化物。
安全:四氟化碳是一种不燃烧的无色、无味的压缩气体,充装于钢瓶中,压力2000psig。当其含量增加至氧气含量低于19.5%导致窒息。接触液体会引起冻伤。避免呼吸气体。在救护工作中需配备自吸式防毒面具。
英文名称:CarbonTetrafluorideorTetrafluoromethane
分子式:CF4。相对分子量:88.00
物理化学性质:在常温下,四氟化碳是无色、无臭、不燃的可压缩性气体,沸点:-128℃,熔点:-183.6℃。液体密度1.613g/cm3(-130℃),临界温度-45.67℃,临界压力:3.74Mpa,介电常数:1.0006(25℃,0.5Mpa)。挥发性较高,是最稳定的有机化合物之一,在900℃时,不与钢、镍、钨、钼反应,仅在碳弧温度下缓慢分解,微溶于水,在25摄氏度及0.1Mpa下其溶解度为0.0015%(重量比),然而与可燃性气体燃烧时,会分解产生有毒氟化物。
用途:四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
包装运输:四氟化碳对金属、合金不腐蚀,可用无缝钢瓶和铝合金容器装运,充瓶压力通常低于12.5Mpa,按压缩气体运输,钢瓶每五年检验一次,国外规定可用汽车、火车、轮船和飞机运输,国内目前无规定。
供应四氟化碳 工业气体-广州中锐化工
日期:2010-08-25 15:59 点击:3
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