价格:未填
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二、技术规格
型号 AWI-6/8
工作腔工位 3工位(75片),6时/8时花篮可互换
硅片尺寸 125mm/156mm
装片速度 2400-3600片/小时
控制系统 PLC可编程控制器、7英寸彩色液晶触摸屏
电源 AC220V,单相三线制50Hz
总功率 2.0KW
外形尺寸(长*宽*高) 1430*760*2000
亦可根据客户要求定制
三、结构特点
1、机架采用SUS304,2*50*50mm不锈钢方形管整体式框架结构,机身封板:SUS 304, 1.5mm板,表面防腐静电喷涂,外观简洁、流畅。
2、操作时由人工将单片硅片放置在水床滑台上,利用水的流动使硅片无阻力的进入花篮内,自动排列。有效避免人工插片时由于人为因素造成的破损,实现了方便、准确、快速地装篮。装片速度视操作者节奏而定,从而大大提高了生产效率。
3、特有的花篮定位夹具装置对有轻度变形的片盒具有矫正功能,能随时适应6时/8时硅片的快速转换,转换时间在10分钟内完成,操作简单,工作可靠。
4、硅片缓冲挡可有效避免硅片入盒造成的冲击力破损。
5、插片用操作小水箱内有加热装置,可调节水温:室温+30℃。
6、设备操作程序中,可针对不同品种硅片盒(包括有轻度变形的片盒)分别进行行程间距的设置和调整。可满足不同品种硅片盒装片。
7、水系统为循环用水,无污染物排放。
8、特有的淋水装置可在装片过程中对硅片随时进行喷淋保持硅片湿润。
9、本设备配有清洗水箱专用水枪。
10、机器外部电源安装、进水、进气、排水,排气配管另行配置安装。
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日期:2011-11-25 14:36 点击:6
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