采样速度

>8000数据/秒

移动速度

0.5mm/秒

传感器移动

X: 100mm ; Z: 420mm

分辨率

65,536:1

净重

100 Kg

尺寸

620mm×400mm×720mm

评定参数

Ra,Ry,Rq,Rp,Rv,Rz,Tp,S,Sm,Tp

取样长度L

0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8 mm

评定长度Ln

1L-5L或任意长度

测量范围

0.01 - 50μm

分辨率

65,536:1

示值误差

≤±3%

残余轮廓

<0.005μm

触针针尖半径

<0.5μm

滤波器

高斯滤波器

测试参数

圆半径, 角度, 距离, 落差等

测量范围

X: 100mm ; Z: ±3 到 ±15mm (视型号)

形状误差

0.1%-1.0%