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产品品牌：广州弗鲁克

产品型号：FRO-500

微电子超纯水处理

用户	水源	源水水质特点	出水用途	出水水质	关键工艺设备
半导体工厂新材料工厂	自来水	附合国家饮用水标准	硅晶片冲洗水新材料生产水	18.2MΩ/cm @25℃； 出水溶解氧含量小于10ppb；其它指标符合国家电子级水EW-1标准	过滤器、软水器、RO反渗透膜、阴床、阳床、混床、紫外线消毒器

超纯水处理 超纯水系统分为预处理、反渗透系统、精脱盐系统及产品水储存输送系统等部分。设计原则 1.操作安全、运行稳定、易于管理2.具备完善、可靠的自我保护功能3.具备良好的故障恢复性能4.具备最佳运行状态重现性系统阶段质量标准(25°C) 1.一级反渗透产水电阻率 ρ＞0.1MΩ.cm2.二级反渗透产水电阻率 ρ＞1.0MΩ.cm3.EDI电脱盐产水电阻率 ρ＞15.0MΩ.cm4.产品水电阻率 ρ＞18.0MΩ.cm系统阶段性能 1.一级反渗透RO系统水利用率 ≥75％2.二级反渗透RO系统水利用率 ≥85％3.EDI电脱盐系统水利用率≥90％4.产品水电阻率 ＞18.0MΩ.cm5.RO膜使用寿命不低于3年，三年后RO膜脱盐率＞95％EDI膜块使用寿命不低于3年 流程图 主要设备索引 多介质过滤器活性炭过滤器精密过滤器全自动软水器RO反渗透膜混床UF超滤UV紫外线消毒器水箱 纯水和膜处理工艺 在纯水处理、尤其是超纯水处理工艺中，各种膜处理工艺被广泛地使用。不同的过滤器能滤除对应的杂质。每种膜处理设备都有各自的进水要求，所以，纯水处理工艺都是用低级别的过滤设备作为高级别过滤器的前级。经过RO反渗透的水，其中盐分被过滤掉，才能测量出水的电阻率出现升高。对于超纯水需要二级反渗透才能满足要求。