品牌:华凯
起订:1台
供应:1000台
产品品牌:华凯
产品型号:SC-2011
Sc-2011型半导体粉末电阻率(四探针)测试仪是根据四探针测试原理研究成功的多用途的综合测量装置,它可以测量棒状、块状,粉末,半导体材料的电阻率和半导体扩散层的薄层电阻进行测量,还可以对有机、无机半导体粉末材料(包括纳米级)的电阻率测量, 也可以测量固体半导体材料,特别适合于太阳能多晶硅、硅粉质量的测量、分选和质量控制. 电阻率值直接数字显示由具有高精度加压系统, 高度测量的测试台和仪器组成.
可以从10-6--105Ω—cm全量程范围检测硅的片状、棒状材料的电阻、薄层电阻,是硅材料质量监测的必需仪器。
仪器为台式结构,分为电气箱、测试架两大部分,用户可以根据测试需要安放在一般工作台或者专用工作台上,测试架由探头及压力传动机构、样品架组成,耐磨和使用寿命长的特点。探头内设有弹簧压力装置,压力从0—2Kg连续可调,测试架设有手动和电动两种装置供用户选购。
仪器电气箱主要由高灵敏的直流数字电压表和高稳定的恒流源组成,测量结果由数字直接显示,仪器有自校量程,可以方便地对仪器的电气性能进行校验。
仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、测量范围广、结构紧凑、使用方便等特点,仪器适用于半导体材料厂、器件厂、科学研究部门、高等院校,对半导体材料的电阻性能测试及工艺检测。
1.范围:电阻率10-4—103Ω—cm,可扩展至105Ω—cm,分辩率为10-6Ω—cm
方块电阻10-3—103Ω /□
电阻10-6—105Ω
2.可测半导体尺寸:直径Φ15—150mm
3.测量方式:轴向、断面均可(手动测试架)
4.数字电压表(1)量程0.2mV、2mV、20mV、200mV、2V
(2)测量误差 0.2mV档±(0.3%读数 8字)
2 mV档以上±(0.3%读数 2字)
(3)输入阻抗0.2mV、2mV挡105Ω
20mV档以上 108Ω
(4)显示3 1/2位数字显示,0—1999
具有极性和过载自动显示,小数点、单位自动显示
5.恒流源:(1)电流输出:直流电流0—100mA连续可调,由交流电源供给
(2)量程:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 五档
(3)电流误差:±(0.3%读数 2字)
6.四探针测试探头 (1)探头间距:1mm (2)探针机械游率:±0.3%
(3) 探针:Φ0.5mm (4)压力:可调
7.测试架:
(1)手动测试架:探头上升及下降由手动操作,可以用作轴向和断面的单晶棒和硅片测试。
(2)粉末测试台
8.电流:220V±10% 50HZ或60HZ:功率消耗 35W
9.外形尺寸:电气箱130×110×400mm