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束管真空抽气设备干式真空泵
干式机械泵,束管真空抽气设备,矿用真空泵,干式真空泵,无油干式机械真空泵
干式真空泵主要有下列几种形式:1、干式螺杆真空泵 2、 无油往复真空泵
3 、爪式真空泵 4、 无油涡旋真空泵
今天我们说的束管真空抽气设备干式真空泵,故名思义,就是用于抽空束管监测系统中束管里的物质的,大家都知道,束管监测系统主要就是监测矿井下气体浓度的主要装置,它是监测员工能否正常在井下生存的重要指标,束管,做为检测气体的输送管路它的重要性也不言而喻,干式真空泵就是抽离管路里不必要的物质,让监测结果更准确。
干式机械真空泵的应用是广泛的,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。