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品牌:远东
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20 余年硬质膜涂层与PVD 设备的制造经 验，自主Know-How 与专利之完美体现。 电弧数量15 套，其中（1）瓷镜式过滤电 弧5 套，用于镀膜底层和梯度膜过滤层， 弧源特点：膜层细腻，结合力高。（2） Φ155 mm 靶材电弧源10 套，用于主功能 膜沉积。本弧源特点：靶温相对过低，膜 层细化，新结构磁场设计，弧斑运动更理 想稳定，沉积速率快，涂层更均匀。 4 纵列弧源配置，可在一个循环中沉积3 种不同材料膜系，保证膜层均匀。 壳体蜂巢结构，超强刚性，水冷均匀。 设备中心配置三段式水冷筒，特别适用于 机械零部件的低温沉积。 淬火663 高速钢滚子/ 牙轮传动，450℃下 镀膜保证可靠连续运转。 根据镀膜工艺优选配置0~1500V 连续可 调，300V/10~15A，1500V/2~3A 线形离 子源，用于辅助沉积和离子清洗。 根据工艺特点优选进口分子泵- 粗抽泵 抽气系统，2 台德国普发（pfeiffer） 250/2300 分子泵，欧瑞康 莱宝（oerlikon leybold）罗茨泵- 旋片泵预抽真空机组。 运行可靠，工艺带宽阔。INFICON 符合真 空计和测量规管，INFICON 电容膜片真空 规。 Q 系三菱PLC，一体工控机，17 寸彩显触 摸屏，正版软件，自动控制可靠，扩展方 便余量大。