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高度仪LinearHeight518系列—高性能2D测量系统分辨率／重复精度为0.1/0.5μm时，精度可高达(1.3+0.6L/600)μm。确保垂直度(前部)达6μm，直线度达4μm。全／半空气浮动系统可调节气垫。带有基本统计功能，另外，通过RS-232C数据输出与带有SPC软件的电脑相连，可实现外部测量数据评估。半自动测量时具有单键操作功能。通过Digimatic工具实现数据输入。可选择多种信息语言包括英语、德语、法语、西班牙语、意大利语、荷兰语、葡萄牙语、瑞典语、捷克语、匈牙利语、斯诺文尼亚语、波兰语、中文*、朝鲜语**和日语。技术参数测量范围:0-972mm滑杆行程:600mm分辨率(可切换):0.0001/0.001/0.01/0.1mm或0.0001/0.001/0.01/0.1mm/.000001"/.00001"/.0001"/.001"20oC时精度:(1.1+0.6L/600)μmL最大测量长度(mm)重复精度(2σ):平面:0.4μm，孔:0.9μm垂直度*:5μm直线度**:4μm驱动方式:手动／电动(5-40mm/s,7级)测力:1N平衡方式:配重