选用真空泵时，需要注意下列事项：

1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10mmHg的真空度，选用的真空泵的真

空度至少要5×10mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。 -6-5

2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10~10mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10~5×10mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10mmHg下长期

工作。又如钛升华泵可以在10mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10mmHg为好。 -2-5-4-6-8-3-7

3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强

低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。