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可靠的精度优良的再现性使用10nm节距测量360～740nm全范围波长。采用双波束方式、双通道传感阵列实现高精度和高再现性。追求人性化的舒适方便的操作通过取景器坐在座位上即可确认测量位置。致力于免维修化的高可靠性设计通过技术革新最大程度地避免SCI/SCE之间的转换以及移动过滤器等设备可动部位的产生。在设计和制造调整上引入了ISO9001认证质量管理体系使产品具有高可靠性和耐用性。高水准的简洁紧凑型设计加载6英寸的大型积分球，实现机身的简洁紧凑。搭载了3种测量口径可根据样品尺寸选择最适当的测量口径。可靠的精度优良的再现性可测量A4尺寸大小的样品的中间部位。