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V10FD-R直接热式型MFC/MFM ●直接热式原理，无层流元件 ●无压损,抗结晶,抗腐蚀 V10FD-R直接热式流量计 ●适用于各种低压和高压管道●预热时间短,零漂小，可靠性高●数模兼容,可使用二次表或计算机控制和显示流量●内置阀控指示灯/通讯指示灯/流量指示灯●内置4种气体,无比热容附加误差,不影响精度 V10FD-R直接热式MFC/MFM采用热式测量原理，直接 用两支快速反应的铠装传感器测量气体流量。该产品为模拟 和数字兼容型设计：可通过模拟型二次表或PLC进行设定和 显示瞬时流量；也可通过数字接口直接与计算机进行通讯。 具有通用于模拟型控制系统和数字型控制系统的特点。 该产品采用多气体多量程的设计便于用户现场配置流量计： 通过拨码开关可以现场选择四种测量气体，每种气体有3种校 准量程，六个LED指示灯可以较直观的显示V10FD-L的各种 工作状态。如果需要对气体流量进行控制时,还可以加装电磁比 例调节阀和内置PID调节功能。 V10FD-R直接热式控制器 产品应用真空镀膜太阳能半导体石油石化煤炭冶金制气配气环保各种分析仪器 技术参数技术指标: V10FD-RC质量流量控制器V10FD-RM质量流量计量程范围: 小量程:5SCCM～10SLM中量程:10SLM～30SLM 大量程:30SLM～250SLM测控范围: 控制器阀控范围50:1流量计量程比100:1准确度: 流量： 3%读数 0.2%满量程 压力：0.5%F.S温度： 1℃ 线性 0.5%F.S重复精度: 0.2%F.S响应时间: 100ms10ms数字量: RS232/485，MODBUS协议模拟量: 0～5V、4～20mA、1～5V供 电: 24V/ 15V可选工作温度: 0～50℃工作压力: 工作压差：0.03～0.5MPa工作压降： 0.01Mpa最大耐压: 3MPa电气连接: DB15孔漏 率: 1 10-9SCCSHe温度系数: 0.015%F.S/℃底座材质: 铝合金或316L不锈钢密封材料: 氟橡胶,氯丁橡胶，丁晴橡胶接 头: VCR1/4;swagelok 6