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气体质量流量控制器(MassFlowController简称MFC)能够在较大的量程范围内对气体的质量流量进行精密测量和控制。气体质量流量计(MassFlowMeter简称MFM)能够在较大的量程范围内对气体的质量流量进行精密测量。它们在石化工业、半导体和集成电路工业、特种材料学科、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的场合包括：电子工艺设备，如、氧化、CVD、扩散、外延、等离子刻蚀、离子注入、溅射、；以及微反应装置、混气配气系统、镀膜设备、光纤熔练、气相色谱仪及其它分析仪器。Line-TechLtd.致力于对产品的性能和生产工艺的不断改进。对M系列气体质量流量控制器（MFC）和气体质量流量计（MFM）进行了全新的技术改造，在功能和性能上有了进一步的提高。M系列气体质量流量控制器和质量流量计具有精度高、响应速度快、重复性好、稳定性佳、软启动、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作)，其操作使用方便，可任意位置安装调试，并更好的与计算机连接实现自动控制。