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应用范围： 主要用于精确地测量或控制气体的流量，具有不因温度或压力的波动而失准、重复性好、自动测量控制、工作压力范围宽等特点。广泛有于半导体和集成电路制造、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中。 特点：l 无移动部件l 快速反应l 无需温度压力补偿l 测量精度高，特别适合低流速气体测量主要技术参数：标准量程5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM1,2,3,5,10,20,30,50,100,150,200,250SLM准确度 0.5%FS～ 2%FS重复性 0.2%FS响应时间1～4S工作压差范围0.05～0.5Mpa最大压力10Mpa环境温度5～45℃输入/输出信号0～+5.00VDC电源+15V50mA,-15V200mA连接 6双锥型卡套密封D型15芯电缆