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项目M3030V型M3030A1流量规格（N2）10sccm～30slpm (可以根据客户要求在10sccm到30slpm中任意一段量程进行标定）2准确度±1%F.S（FullScale）3重复精度±0.25%F.S（FullScale）4响应时间≤3sec(特别要求：:≤1sec)5耐压最高95bar6工作环境温度5℃~65℃7输入输出信号0~5Vdc or 4~20mA8电源±15Vdc,350mA9外形尺寸总长：依进气口、出气口接头规格而定宽：36mm高：138mm1结构气体质量流量计由流量传感器(Sensor)，分流器通道和流量放大电路等部件组成；在气体质量流量计的基础上，再加上调节阀门和PID控制电路就构成了气体质量流量控制器。M系列气体质量流量控制器.M2030气体质量流量计与M3030型气体质量流量控制器相比，在结构上它们的不同点是，M2030气体质量流量计少了电磁调节阀（SolenoidValve），其它部分基本相同。 2工作原理流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理气体的质量流量（无需温度压力补偿）。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，放大后的流量检测电压与设定电压进行比较，再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使用之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与之配套的FM-30VE系列ReadoutBox上设置有稳定电源，3位半数字电压表，设定电位器，外设、内设转换和三位阀控开关等。相控制器与流量显示仪连接后的工作原理。 控制器输出的流量栓检测电压与流过通道的质量成正比，满量程（F.S）流量检测输出电为＋5V。气体质量流量控制器的流量控制范围是（2~100）％F.S(程比为50:1)，流量分辨率是0.1％F.S。气体流量计，气体流量控制器，耐腐蚀，MFC，MFM耐高压，热式原理，气体质量流量控制器范寅烨 13917099687