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CP7K型：X，Y轴：225mm×150mmand300mm×200mm，Z轴行程：175mm全部花岗石结构；高分辨率；高精度；CCD测量系统（可选配显微镜系统）。标准型：X，Y轴：50mm×50mmor100mm×50mm；Z轴行程：200mm支持OV2或标准放大镜头；可选用微分头读数；可选择照明；辅助镜头。CP24型：X，Y轴：500mm×600mm，Z轴行程：200mm；使用Starrett专业技术的花岗石平台；线性马达驱动；空气轴承或机械轴承设计；高精密度。