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根据单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M标准设计的专用于测量硅晶块、晶片电 阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡 胶等材料方块电阻的小型仪器；体积仅为：电阻率：0.01～1999.9 .cm；方块电阻：0.1～19999 /□；锂电池供电，一次充电可连续使用100小时