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测量表面电阻系数及对地阻抗⒉使用可充电式电池电源,测量静电控制设施范围10的4次方 ／ｓｑ．～10的14次方 ／ｓｑ．精度 1／2decade抗静电袋 防静电垫 传导性工作表面