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将一种独有的X-射线光学平行光束装置靠近样品，如同能谱探测器那样。热电的MAXray平行光束谱仪就能将并不平行的X-射线变成平行的光束。此法将波谱仪的色散性能和大面积能谱探头的灵敏度结合起来，用于微区分析低电压/低束流的应用。 MAXray设计用于50~100pA的FESEM或SEM上100eV至1.8keV范围的K、L或M线的元素。它的独特的X-射线聚焦光学装置产生的X-射线平行光束的强度可高达普通波谱仪（WDS）的50倍。因此具有极强的探测灵敏度。 MAXray平行光束谱仪包括多元素X-射线聚焦光学装置，手动可收缩滑板和多轴调节机构，流气正比计数管，集成电子学，马达和电子控制系统。 MAXray扩展型(ER)使用一种专利的混合X-射线聚焦光学，综合了闪烁入射和多毛细管光学装置，其分析的能量范围在与标准MAXray同样的低压范围时从100eV扩展至10keV。 特点：w 极佳的固定角度X-射线收集w 重叠峰的WDS分辨w 权威的元素鉴定w 超高灵敏度w 高分辨率定量分析w X-射线峰分布图和线扫描w 准确，高立体分辨率X-射线分布图和线扫描可以单独订购或者与EDS微区分析系统一起订购。定量分析需要束流计。