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河南净化 洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级 等数ISO空气洁净 大于或等于表中粒径的最大浓度限值（P/m-空气） 洁净等级美国联邦209E 0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 1um 5um ISOClass1 10 2 ISOClass2 100 24 10 4 ISOClass3 1000 237 102 35 8 1 ISOClass4 10000 2370 1020 352 83 10 ISOClass5 100000 23700 10200 3520 832 29 100 ISOClass6 1000000 237000 102000 35200 8320 293 1000 ISOClass7 352000 83200 2930 10000 ISOClass8 3520000 832000 29300 100000 ISOClass9 35200000 8320000 293000 300000