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Nikon 已推出由行程 15m m 至 100m m 的高度计 Digimicro ，精度在 0.7 um 至 3um 內，可搭配各式平台及測针使用，适用与精密模具业、电子半导体业， 模具加工业等。 机型 测量行程 精度 可承受速度 最小读取值 扩充性 MF-1001 0-100mm 3um 500mm/秒 0.01um 可外接印表及PC MF-501 0-50mm 1um 500mm/秒 0.01um 可外接印表及PC MH-15M 0-15mm 0.7um 500mm/秒 0.01um 可外接印表及PC 平台 型式 材质 平台尺寸 MS-11C 陶瓷 110X 110mm MS-21 铸铁 150X 150mm MS-31G 花岗石 120X 180mm MS-4G 花岗石 400X 300mm MS-5C 陶瓷 直径100mm