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 膜层材料的原子或分子要从其表面逃逸出来必须获得足够的热能，有足够大的热运动，当其垂直表面的速度分量的动能足以克服原子或分子间相互吸引的能量时，才可能逸出表面，完成蒸发或升华。在蒸发过程中，膜层材料的汽化量（表现为膜层材料上方的蒸汽压）与膜层材料的受热（温升）有密切关系。加热温度越高，分子动能越大，蒸发或升华的粒子量就越多。蒸发过程不断地消耗材料的内能，要维持蒸发，就要不断地补给热量。蒸发过程中膜层材料的蒸发速率及其影响因素与其饱和蒸汽压密切相关。