12.1 排气机真空系统的组成

荧光灯真空系统和一般的真空系统一样，也是由真空容器（灯管）、和真空获得、真空测量和真空控制等组件组成的。具体地说 , 是由灯管、捕集器、真空阀、真空测量装置、真空机组、连接导管和气体充填装置组成的。

12.1.1 真空机组

真空机组是由真空泵与相应的真空元件按性能

要求组合起来的抽气装置。在照明行业中 , 通常使

用罗茨泵与旋片泵组合 , 也有的工位单独使用旋片

泵。

12.1.2 真空阀

关紧真空阀可以将真空机组与系统的其它部分

隔离 , 在停机时保持系统内的真空。有些厂家在此

安装电磁放气阀 , 在隔离系统的同时，自动将大气

放入机械泵。

12.1.3 捕集器

捕集器的作用是防止固态异物经过管道进入中

心盘和真空泵 , 也可将可凝性气体（如汞、油蒸汽）凝结 , 使油不能进入灯管而汞不能进入中心盘。通常用硬质玻璃制成，并起到方便用火花检漏器检漏的作用。

12.1.4 中心盘

又称中心凡尔，由上下两部分组成，上下盘各有管道相通，下盘固定，上盘随排气机大盘运转 , 这样 , 上盘的管道就依次与下盘的管道接通，完成工艺过程。中心盘的上下盘结合面十分平整光洁，在工位孔两侧开有油槽（2~3道），并与真空泵相连以利密封。

12.1.5 真空规管

用于测量系统的真空度，并通过控制仪表根据测出的真空度，与设定的允许值比较，超出范围时关闭真空闭锁并发出警告。

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