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接触晶圆的吸笔盘面采用耐温等级更高、尺寸更稳定、密封性更好的Torlon PAI。
PAI 真空吸笔先比常用的 ESD PEEK吸笔头，可以使用在更高的工作稳定环境下，主要的特性优点：
1、在高达 275℃ 时仍具有优异的长期强度和刚度
2、出色的耐磨损性
3、从低温到 275℃ 都具有卓越的韧度
4、耐强酸和大部分有机物
5、固有的阻燃性
6、低的线性热膨胀系数
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